Название: Процессы нанотехнологии - учебное пособие (Илюшин В.А. Величко А.А.)

Жанр: Технические

Просмотров: 959


Содержание

Читать: Аннотация
Читать: Введение
Читать: 1. эпитаксиальные методы получения наноструктур
Читать: 1.1. молекулярно-лучевая эпитаксия
Читать: 1.1.1. конструкция установки
Читать: 1.1.2. требования к рабочему давлению
Читать: 1.1.3. молекулярные источники
Читать: 1.1.4. нагрев подложки и контроль температуры
Читать: 1.1.5. подготовка подложек
Читать: 1.1.6. дифракция быстрых электронов
Читать: 1.1.7. осцилляции интенсивности зеркально отраженного пучка электронов
Читать: 1.1.8. термодинамический анализ процесса роста
Читать: 1.2. газофазная эпитаксия из металлоорганических соединений (мос-технология)
Читать: 1.2.1. мос-гидридная эпитаксия соединений a3b5
Читать: 1.2.2. оборудование для  мос-гидридной  эпитаксии
Читать: 1.2.3. сравнение млэ и мос-гидридной эпитаксии
Читать: 2.  квантово-размерные структуры
Читать: 2.1. основы теории гетероэпитаксиального роста
Читать: 2.2. сверхрешетки и квантовые ямы
Читать: 2.3. эффекты самоорганизации
Читать: 2.3.1. квантовые точки
Читать: 2.3.2. спонтанное фасетирование
Читать: 2.3.3. поверхностные структуры плоских упругих доменов
Читать: 2.3.4. структуры с периодической модуляцией состава
Читать: 3. сканирующий туннельныймикроскоп
Читать: 3.1. история создания и принцип действия стм
Читать: 3.2. основные достижения стм
Читать: 3.3. применение стм в нанолитографии
Читать: 4. атомно-силовой микроскоп
Читать: 4.1. принцип работы асм
Читать: 4.1.1. контактный метод
Читать: 4.1.2. полуконтактный метод
Читать: 4.2. панорамный анализ поверхности
Читать: 4.2.1. исследование морфологии поверхности
Читать: 4.2.2. магнитно-силовая микроскопия (magnetic force microscopy)
Читать: 4.2.3. электростатическая силовая и емкостная микроскопия
Читать: 4.2.4. термическая спектроскопия (scanning thermal microscopy)
Читать: 4.3. методы  асм  литографии
Читать: 4.3.1. вспашка
Читать: 4.3.2. электрохимическая литография
Читать: 4.3.3. химико-механическая литография
Читать: 4.4. основные направления развития технологии асм
Читать: 4.4.1. новые виды кантилеверов
Читать: 4.4.2. альтернативное использование кантшгеверов: физические, химические и биологические сенсоры
Читать: Литература