Название: Физическая химия в микроэлектронной технологии - Учебно-методическое пособие (А.В. Каменская)

Жанр: Химия

Просмотров: 810


Содержание

Читать: Аннотация
Читать: Предисловие
Читать: Глава 1. химические связи в кристаллах
Читать: 1.1. классификация химических связей
Читать: 1.2. понятие электроотрицательности атомов
Читать: 1.3. химические связи в полупроводниковых соединениях
Читать: 1.4. твердые растворы
Читать: Глава 2. о термодинамическом методе изучения свойств и превращении веществ
Читать: 2.1. основные определения и положения термодинамики
Читать: 2.2. связь между физическими и термодинамическими свойствами веществ
Читать: Глава 3. термодинамика растворов
Читать: 3.1. парциальные молярные величины
Читать: 3.2. химические потенциалы компонентов раствора
Читать: 3.3. идеальные растворы
Читать: 3.4. реальные растворы
Читать: Глава 4. применение термодинамики при изучении химических реакций
Читать: 4.1. теплота химической реакции
Читать: 4.2. химическое равновесие
Читать: Глава 5. кинетика химических процессов
Читать: 5.1. элементарные реакции
Читать: 5.2. соотношение константы равновесия и константы скоростей реакций
Читать: 5.3. определение порядка реакции
Читать: 5.4. вычисление констант скоростей реакций первого и второго порядка
Читать: Глава 6.  катализ
Читать: 6.1. основные понятия
Читать: 6.2. гомогенный катализ
Читать: 6.3. гетерогенный катализ
Читать: Глава 7. дефекты в реальных кристаллах
Читать: 7.1. общая классификация дефектов
Читать: 7.2. примеси в полупроводниках (атомные дефекты)
Читать: 7.3. точечные дефекты в кристаллах полупроводников
Читать: 7.4. ассоциации точечных дефектов
Читать: 7.5. равновесия точечных дефектов
Читать: Глава 8.  термодинамический  анализ процесса  выращивания  кремния  путем  восстановления  его  хлоридов
Читать: 8.1. метод получения кремниевых стержней
Читать: 8.2.  основные параметры и реакции процесса роста кремния
Читать: Глава 9. основы  термодинамики  и  кинетики газотранспортных  реакций при  осаждении  слоев  gaas
Читать: 9.1.  лимитирующие стадии процесса роста
Читать: 9.2.  методика расчетов парциальных давлений в зоне роста слоев gaas
Читать: 11.  литература