Название: Физическая химия в микроэлектронной технологии - Учебно-методическое пособие (А.В. Каменская)

Жанр: Химия

Просмотров: 1433


Аннотация

Анна Викторовна Каменская

 

физическая химия

в микроэлектронной технологии

 

Учебно-методическое пособие

 

Редактор  Т.П. Петроченко

Технический редактор  Н.В. Белова

Корректор  И.Е. Семенова

Художник-дизайнер  А.В. Волошина

Компьютерная верстка  Г.И. Якименко

_____________________________________________________________________

Подписано в печать   31.05.2006.  Формат 60 х 84  1/16. Бумага офсетная

Тираж  200  экз.   Уч.-изд. л.  4,88.    Печ. л.  5,25.    Изд.  №  350.

Заказ  №                          Цена договорная

_____________________________________________________________________

Отпечатано в типографии

Новосибирского государственного технического университета

630092, г. Новосибирск, пр. К. Маркса, 20

 

 

Министерство образования и науки Российской Федерации

 

НОВОСИБИРСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ

_____________________________________________________________________________

 

А.В. КАМЕНСКАЯ

 

Физическая химия

в микроэлектронной технологии

 

Утверждено

Редакционно-издательским советом университета

в качестве учебно-методического пособия

 

НОВОСИБИРСК

2006

УДК 541.1(075.8)

         К 18

 

Рецензент Н.И. Фирсов, д-р техн. наук, проф.

 

Работа подготовлена на кафедре полупроводниковых приборов

и микроэлектроники

 

Каменская, А.В.

К 18          Физическая химия в микроэлектронной технологии : учебно-

учебно-метод. пособие / А.В. Каменская. – Новосибирск : Изд-во

НГТУ, 2006. – 84 с.

 

          ISBN 5-7782-0649-6

 

Изложены основные положения химической термодинамики, учения о химическом равновесии, термодинамики растворов, кинетики химических процессов. Рассмотрены основные соотношения при определении равновесных концентраций точечных дефектов в кристаллах полупроводников. Приведены примеры термодинамического анализа для систем эпитаксиального роста полупроводниковых материалов.

Пособие адресовано студентам, обучающимся по специальностям «Микроэлектроника и твердотельная электроника», а также по направлению «Нанотехнология», для дневной и заочной форм обучения.

 

УДК 541.1(075.8)

 

ISBN 5-7782-0649-6                                                  Ó А.В. Каменская, 2006

Ó Новосибирский государственный

 технический университет, 2006