Название: Физическая химия в микроэлектронной технологии - Учебно-методическое пособие (А.В. Каменская)

Жанр: Химия

Просмотров: 1433


Предисловие

 

Современная микроэлектроника берет начало от планарной технологии на твердом теле и пленочной технологии. Важнейшие процессы, используемые в технологии микроэлектроники, – нанесение эпитаксиальных слоев, удаление вещества с поверхности твердой фазы, легирование и диффузионное перераспределение – являются физико-химическими и имеют определенные особенности, связанные с протеканием их на поверхности или в объеме твердой фазы. Так, например, с термодинамических позиций интегральная схема представляет собой микрогетерогенную систему, состоящую из нескольких фаз, имеющих различную физико-химическую природу, для которой характерно наличие внутренних поверхностей раздела, контактов разнородных материалов, градиентов концентраций и градиентов напряжений. Все это приводит к термодинамической нестабильности, проявляющейся в ходе технологического процесса. Выбор рациональной технологии как совокупности различных физико-химических процессов невозможен без знания основных закономерностей этого взаимодействия.

Поэтому изучить основные положения химической термодинамики, термодинамики растворов, поверхностные явления необходимо для студентов, обучающихся по направлениям «Микроэлектроника и твердотельная электроника», а также «Нанотехнология».

В настоящем пособии использованы материалы монографий [1–8].

Ограниченное количество учебной литературы по данному направлению продиктовало необходимость написания настоящего пособия.