Название: Физическая химия в микроэлектронной технологии - Учебно-методическое пособие (А.В. Каменская)

Жанр: Химия

Просмотров: 1433


11.  литература

 

1. Горелик С. С., Дашевский М. Я. Материаловедение полупроводников и диэлектриков.– М.: Металлургия, 1988. – 574 с. 

2. Крапухин В.В., Соколов И.А., Кузнецов Г.Д. Теория процессов полупроводниковой технологии. – М.: МИСИС, 1995. – 495 с.

3. Глазов В.М. Основы физической химии. – М.: Высш. шк., 1981. – 455 c.

4. Андриевский Р. А., Рагуня А.В. Наноструктурные материалы. – М.: Академия, 2005. – 179 с.

5. Броудай И., Мерей Дж. Физические основы микротехнологии: Пер. с англ. – М.: Радио и связь, 1985. – 496 с.

6. Процессы микро- и нанотехнологии / Т.И. Данилина, К.И. Смирнова, В.А. Илюшин, А.А. Величко. – Томск, 2005. – 315 с.

7. Уэлес С. Фазовые равновесия в химической технологии. – М.: Мир, 1989. – 360 с.

8. Уфимцев В. Б., Акчурин Р. Х. Физико-химические основы жидкофазной эпитаксии. – М.: Металлургия, 1983. – 222 с.

9. Черняев В. Н., Кожитов Л. В. Технология эпитаксиальных слоев арсенида галлия и приборы на их основе. – М.: Энергия, 1974.